プロセス紹介 - ダイシング 切断加工

ISO9001/14001認証

各種ウエハーのダイシング(切断)のご要求にお答えします

全てのチッピング発生をなくすため、特殊ブレードを採用。
ダイシングの品質が特に重要視されるフリップチップ実装。
AK電子では、ウェハー切断時に発生する全てのチッピング発生をなくすため、品質向上に努めております。

ml300plus3fh
ML300PlusⅢFH
(東京精密)

DFD-6340
( ディスコ )

DFD-6341
(ディスコ)

DFD-6361
( ディスコ )

SS20
( 東京精密 )
  • 2019/12にML300PlusⅢFH(東京精密)を追加導入
  • 2015/11にML300PlusⅢFH(東京精密)を新規導入。詳細情報(保有ステルスダイサー仕様)
  • 対応ウエハ:0.5インチ、2インチ、3インチ、4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、12インチ
    ※チップ単体及びショット単体でも対応致します。

ステルスダイシング

型式:ML300PlusⅢFH(株式会社東京精密)
適用ウェハー:Siφ0.5~φ12"
特徴:純水、ブレードを使用しない光学的損傷現象を利用したダイシング技術モジークカット(レーザーON/OFF)で異形状(マルチウエハ、ゼブラウエハ)にレイアウトされたウエハ加工を実現。表面入射できないウエハは裏面からIRカメラにて入射可能。
都度、ご相談ください。
保有ステルスダイサー仕様はこちら

MAHOHDICING

ブレードダイシングで必要なカーフロスは0μm となりダイシングストリート幅の設計を大幅に縮小することが可能になります。 ウェーハあたりのチップ収率を極限まで高められる技術です。

真空テープ貼り付け装置(新規導入)
VTL-100(NECエンジニアリング)
適用ウェハー:Siφ2~φ8”
ウエハーエキスパンダー
EX-812 (弊社:AK電子オリジナル装置)

フルオートダイシングソー(8,12インチ対応)

DFD-6361( ディスコ/DISCO DUAL SAW )ワークの搬送・アライメント・カット・洗浄/乾燥までを一貫して行うフルオートダイシングソーです。
最新のφ300mmTAIKOウエハのサークルカット対応を取り入れたフルオートデュアルダイシングソーです。
※φ12インチTAIKOウエハのサークルカットも対応しております。(2020.01.30)

DFD6341は、φ300 mm対応機DFD6362で培ったスループット向上技術を取り入れた最新のφ8” 対応フルオートデュアルダイシングソーです。 (下記追加掲載あり)


フルオートダイシングソー(6,8インチ対応)

DFD-6340( ディスコ/DISCO DUAL SAW)ワークの搬送・アライメント・カット・洗浄/乾燥までを一貫して行うフルオートダイシングソーです。 品質は勿論のこと、お客様のニーズに対応できるよう様々な改善がされています。


ウエハーマウンター

RAD2500/12(リンテック) ウエハーをダイシングテープへ貼る ※プリカットタイプ ※ロールタイプのマニュアルカット(内部改善)にも対応


UV照射機

PNC-400(コスモ技研) UVフィルム粘着度を下げる。 12インチまで対応


Sicダイシング加工


詳細情報はこちら<メーカーリンク>

サークルカット(ダウンサイジング)

※サークルカット・エッジアライメントソフト導入。(ダウンサイジング)
※ダウンサイジング:φ12→φ8・φ5・φ4・φ3・φ2(ミニマルファブφ0.5)まで対応可能。
※エッジトリミング加工も対応可能となりました。


TAIKOウエハのリブカット

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