各種ウエハーのダイシング（切断）のご要求にお答えします
全てのチッピング発生をなくすため、特殊ブレードを採用。
ダイシングの品質が特に重要視されるフリップチップ実装。
AK電子では、ウェハー切断時に発生する全てのチッピング発生をなくすため、品質向上に努めております。
 ML300PlusⅢFH (東京精密) |
 DFD-6340 ( ディスコ ) |
 DFD-6341 (ディスコ) |
 DFD-6361 ( ディスコ ) |
 SS20 ( 東京精密 ) |
- 2019/12にML300PlusⅢFH(東京精密)を追加導入
- 2015/11にML300PlusⅢFH(東京精密)を新規導入。詳細情報(保有ステルスダイサー仕様)
- 対応ウエハ：0.5インチ、2インチ、3インチ、4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、12インチ
※チップ単体及びショット単体でも対応致します。
ステルスダイシング
型式：ML300PlusⅢFH(株式会社東京精密)
適用ウェハー：Siφ0.5～φ12"
特徴：純水、ブレードを使用しない光学的損傷現象を利用したダイシング技術モジークカット(レーザーON/OFF)で異形状(マルチウエハ、ゼブラウエハ)にレイアウトされたウエハ加工を実現。表面入射できないウエハは裏面からIRカメラにて入射可能。
都度、ご相談ください。
保有ステルスダイサー仕様はこちら
MAHOHDICING
ブレードダイシングで必要なカーフロスは0μm となりダイシングストリート幅の設計を大幅に縮小することが可能になります。 ウェーハあたりのチップ収率を極限まで高められる技術です。
- 真空テープ貼り付け装置(新規導入)
- VTL-100(NECエンジニアリング)
適用ウェハー：Siφ2～φ8”
- ウエハーエキスパンダー
- EX-812 (弊社：AK電子オリジナル装置)
フルオートダイシングソー(8,12インチ対応)
DFD-6361( ディスコ/DISCO DUAL SAW )ワークの搬送・アライメント・カット・洗浄/乾燥までを一貫して行うフルオートダイシングソーです。
最新のφ300mmTAIKOウエハのサークルカット対応を取り入れたフルオートデュアルダイシングソーです。
※φ12インチTAIKOウエハのサークルカットも対応しております。（2020.01.30）
DFD6341は、φ300 mm対応機DFD6362で培ったスループット向上技術を取り入れた最新のφ8” 対応フルオートデュアルダイシングソーです。 (下記追加掲載あり）
フルオートダイシングソー(6,8インチ対応）
DFD-6340( ディスコ/DISCO DUAL SAW)ワークの搬送・アライメント・カット・洗浄/乾燥までを一貫して行うフルオートダイシングソーです。 品質は勿論のこと、お客様のニーズに対応できるよう様々な改善がされています。
ウエハーマウンター
RAD2500/12(リンテック) ウエハーをダイシングテープへ貼る ※プリカットタイプ ※ロールタイプのマニュアルカット（内部改善）にも対応
UV照射機
PNC-400(コスモ技研) UVフィルム粘着度を下げる。 12インチまで対応
Sicダイシング加工
サークルカット(ダウンサイジング)
※サークルカット・エッジアライメントソフト導入。（ダウンサイジング）
※ダウンサイジング：φ12→φ8・φ5・φ4・φ3・φ2(ミニマルファブφ0.5)まで対応可能。
※エッジトリミング加工も対応可能となりました。
TAIKOウエハのリブカット
レーザーダイシング装置（DFL7160）
協力会社での新プロセス、レーザーソーとウェーハブレーカーでサファイヤ、GaN、SiC、ALN、Low-Kダイシング、Si等のテストカットから量産加工まで対応が可能になりました。
レーザーダイシング後観察写真
実験用レーザー光源